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单晶硅多晶硅行业烘箱

单晶硅多晶硅行业烘箱

单晶硅烘箱概念

单晶硅烘箱主要用于单晶硅与多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工艺处理。

单晶硅烘箱特点

1,本系列单晶硅烘箱主要用于单晶硅与多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工艺处理。
2,本系列烘箱采用数显温度调节仪进行温度控制、控温灵敏、操作简便、性能可靠,数字直接显 示出工作温度,直观易读。
3,工作室温度可在室温至250℃之间任意恒温;能自动切断电源,保护设备和产品。
4,该设备具有超温报警,恒温计时功能。

单晶硅烘箱工作原理

■ 单晶硅烘箱箱体结构: 设计完美,箱体采用数控机床加工成型,箱门采用双开式,操作容易。内胆采用SUS304不锈钢板,外壳为A3板喷塑处理,更显光洁、美观。电路系统侧采用门式开启,方便维护和检修。箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保烘箱的密闭性。
■ 单晶硅烘箱控制执行系统: 温度控制器采用触摸按键、数显LED显示、PID智能控制仪表; Pt100铂电阻测温传感器;

■ 单晶硅烘箱保护系统: 整机保护系统由超温保护及报警装置构成。保证了执行元器件及试件的完好。

本公司提供以下尺寸、温度等仅供参考,亦可根据客户需求定制非标尺寸:

型号 功率 电压 工作温度范围 控温灵敏度(℃    鼓风功率    工作室尺寸MM     外形尺寸MM 容积
       KW    V         ( ℃  )         (℃)      W       深*宽*高       深*宽*高    L
   1    2.8   220    20~250℃          ±1℃   40      350*450*450     500*810*813   70
   2    3.2   220    20~250℃          ±1℃       40      450*550*550     600*910*913   136
   3    4.2  380    20~250℃          ±1℃      180     500*600*750

    650*960*1113

  225
   4    8.2  380    20~250℃          ±1℃      370    800*800*1000   1000*1170*1580   640
   5   11.2  380    20~250℃          ±1℃      740  1000*1000*1000   1200*1370*1580  1000
   6   14.2  380    20~250℃          ±1℃      750  1000*1200*1200   1200*1570*1780  1400
   7   17.2  380    20~250℃          ±1℃      1500  1000*1200*1500   1200*1600*2100  1800
   8   20.2  380    20~250℃          ±1℃      2200  1200*1500*1500   1400*1900*2100  2700

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